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金融界2024年6月13日消息,天眼查知识产权信息显示,山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法“,公开号CN202410579035.9,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本申请公开了一种金刚石用抛光液及金刚石衬底的抛光方法,属于金刚石抛光技术领域。该抛光液包括金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水,所述抛光液中金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水的重量比为(0.02~0.1):(0.02~0.1):(0.05~0.1):1,所述双氧水中过氧化氢的浓度为30%。本申请的抛光液通过使用微溶于水的铁盐来实现铁源的供给,能够在双氧水的存在下实现羟基自由基的稳定供应,从而有效去除金刚石表面的杂质,实现对金刚石表面的原子级粗糙度的控制。