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金融界2024年6月7日消息,天眼查知识产权信息显示,山东天岳先进科技股份有限公司申请一项名为“一种金刚石衬底的表面处理方法“,公开号CN202410579028.9,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本申请公开了一种金刚石衬底的表面处理方法,属于金刚石表面处理技术领域。该表面处理方法,包括下述步骤:(1)研磨:将研磨液通入待研磨金刚石衬底和研磨盘之间,采用研磨机进行研磨得到待抛光金刚石衬底,研磨液包括重量比为(0.08~0.15):(0.08~0.15):(0.05~0.10):1的金刚石微粉、碳化硼微粉、双氧水和水;(2)抛光:将抛光液通入待抛光金刚石衬底和抛光布之间,对待抛光金刚石衬底进行抛光,抛光液包括重量比为(0.02~0.1):(0.02~0.1):(0.05~0.1):1的金刚石微粉、三价铁盐、双氧水和水;步骤(1)和(2)中,双氧水中过氧化氢的浓度为30%。上述表面处理方法既能够提高成品率又能够得到表面原子级粗糙度的金刚石衬底。