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国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司取得一项名为“类金刚石薄膜低温沉积装置”的专利，授权公告号CN223633461U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种类金刚石薄膜低温沉积装置，包括连通设置的微波解离腔室和射频解离腔室，所述微波解离腔室与工艺气体的气罐通过气体管路连通，所述微波解离腔室通过微波波导与微波源连接，所述射频解离腔室通过射频柱与射频电源的射频端口连接，所述射频解离腔室内设置有晶圆载台。本实用新型的类金刚石薄膜低温沉积装置，工艺气体的解离更充分，提高了沉积类金刚石薄膜的SP3键的含量，提高了沉积的类金刚石薄膜的硬度，且类金刚石薄膜沉积的均匀性更好。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目253次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息460条，此外企业还拥有行政许可14个。
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